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石墨還被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的制備過(guò)程中

作者:jcshimo 發(fā)布時(shí)間:2024-04-27 15:41:38

石墨還被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體資料的制備過(guò)程中。比方,在硅晶圓制備的過(guò)程中,需求使用石墨爐進(jìn)行高溫?zé)崽幚恚珷t具有良好的抗高溫性和熱傳導(dǎo)性,能夠供給均勻的加熱和冷卻環(huán)境,保證硅晶圓的質(zhì)量和穩(wěn)定性。此外,石墨還可以作為半導(dǎo)體資料的襯底,供給良好的支撐和導(dǎo)電功能,有助于構(gòu)建復(fù)雜的半導(dǎo)體器件。

石墨